
详细介绍
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集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。
通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。
薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,
相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时,
同样可将部分电路制造在此基板上。
厚膜传感器是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,
基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。
陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。
完成适当的预备性操作之后,已成形的元件在高温中进行烧结。
厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多共同特性,在某些方面,
可以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。
一体化的整体设计,传感器不受机械磨损,它们的可靠性和较长的使
用寿命说明了这一点。传感器外壳有各种各样的设计(圆柱形和立方体), 允许选择与机械设计兼容的样式。
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